1、目的:防止半導體產品在生產,搬運,存儲,包裝過程中受到靜電放電的損壞而制定本程序書
2、 適用范圍﹕適用于電子生產,**,航空航天等企業﹒
3、責任﹕
3.1靜電防護區域的所有人員必須執行本程序書的要求﹒
3.2制造部經理/各級主管/工程師應保證本部門所有人員都經過適當的ESD培訓﹐所有的設備﹐物料都得到了適當的ESD保護﹒品保部人員應該定期稽核所有靜電防護區域以確保本程序書的實施﹒

4、定義:
4.1 ESD ELECTROSTATIC DISCHARGE 靜電放電,由靜電場引起的在兩個不等電位物體之間的放電電流.
4.2 ESD防護區域 裝備了足夠的ESD防護材料和設備以防止限制ESD損壞的生產和存儲區域,在本公司以下區域為ESD防護區域: 生產車間(POWER\MOTHERBOARD(DIP SMT )/SYSTEM),QA試驗室(IQC/BURN IN ROME),資材倉庫,制工維修部.
4.3 ESD防護材料 有以下一種和幾種作用的材料:1)限制靜電的產生;2)積累于其上的靜電荷迅速消散;3)靜電屏蔽.靜電防護材料根據其表面電阻又分為:導電材料(<10E5Ω),靜電消散材料(10E5Ω-10E9Ω)和抗靜電材料(10 E9Ω-10E14Ω).
4.4 ESDS ELECTROSTATIC DISCHARGE SENSITIVE靜電放電敏感度,產品因為靜電放電而導致質量下降.
4.5 FACILITY GROUND 指一塊埋在地下的金屬導體,是全廠地線網絡的匯集點,全廠的所有地線都應直接或間接地與它相連接.
4.6硬接地 直接或通過一個小電阻與FACILITY GROUND相連接.
4.7軟接地 通過一個足夠大的電阻與FACILITY GROUND 相連,以便由ESD引起的電流不大于5MA.

5、靜電防護工具﹕接地銅塊﹐接地電阻﹐接地線﹐靜電環﹐靜電衣﹐靜電鞋﹐靜電環點檢儀﹐接地銅編織帶,靜電鞋.檢查儀﹒

6、程序內容﹕
6.1 ESD防護區域的所有工作臺﹐推車﹐貨架﹐機器防靜電地板都可靠接地﹒
6.1.1工作臺上的表面板是軟接地﹐方法是通過一個1M的電阻與FACILITY GROUNG相連﹒
6.1.2防靜電貨架應為軟接地﹐接地電阻應在1M-10MΩ電阻之間﹒
6.1.3防靜電推車應通過銅編織帶﹐導電輪或導電鏈與導電地板接觸﹒
6.1.4防靜電地板應每半年由廠務檢查一次﹐其表面電阻在1M-10MΩ之間﹐保證其防靜電效果﹒
6.1.5所有機器應通過電源或可靠地接地﹐同時在機器上應有ESD監控措施﹐以便操作員在操作機器時進行ESD防護﹒
6.1.6操作員應佩帶靜電環以實現軟接地﹐必須保證靜電環接觸皮膚﹐所有靜電保護區域的人員都應通過靜電環檢查﹒靜電環本身電阻應在200K-5M之間﹐佩帶時手與插頭之間的電阻應為小于100M﹒
6.1.7進入靜電保護區域的人員必須穿靜電服﹐靜電鞋(或鞋套),靜電服的紐扣應扣緊﹐應保持靜電服與手腕的接觸﹒
6.1.8每季度個區域ESD防護負責人員應對所有機臺﹐工作臺﹐貨架﹐推車的接地狀況作一次**檢查﹐通過后才能使用﹒
6.1.9對循環用料盒﹐每4個月報廢一次﹐并在每弟三個月時﹐抽測其中5只送交QA檢查﹐如失效立即報廢﹐以起到防靜電效果﹒
6.2 操作
在產品的裝配﹐測試﹐外觀檢查﹐分析﹐穩定性測試過程中﹐如果產品是放在有靜電屏蔽的外包裝盒﹐則其擺放位置和取放方式不受限制﹒
6.2.1 產品應置于可靠接地的工作臺﹐推車﹐貨架和機臺上﹒
6.2.2 操作員應佩帶靜電環軟接地﹒
6.2.3 對于報廢器件不受此限制﹒
6.3 標志﹕
6.3.1 ESD防護區域應貼有專用的ESD標簽以提示操作人員﹐ESD標簽上應有檢查人員簽字與檢查日期﹒
6.3.2出貨包裝盒上應印有ESDS的警告字樣或貼有專用的ESD標簽﹒
*** 產品在存放或運到一個非ESD保護區域時應裝在容器中﹐這個容器應至少有一層導電層以屏蔽靜電場﹒
6.5 所有接觸ESD敏感材料的人員應接受ESD課程的培訓﹐新員工在開始工作前接受此項培訓﹒